走出超精密加工实验室，已是凌晨。踏着夜色，智能科学学院副研究员刘俊峰的脚步变得轻快了起来。

就在刚才，他反复建模、测试、验证的抛光装置结构与工艺，终于降低了团队所加工的光学元件最后一段频率误差。这意味着，他们加工的光刻物镜样件精度从纳米级别提升到亚纳米级别。

光刻物镜是加工芯片的核心装备——光刻机的重要部件。光刻物镜设计难度大，对精度要求极高，一度成为芯片制造的“卡脖子”难题。

2014年，超精密加工团队接到了国家某重大专项任务，要求将光刻物镜的加工精度提升到亚纳米级别。当时，年纪轻轻的刘俊峰刚刚博士毕业，加入了超精密加工团队。

“为什么某些频率段的误差总是无法降低？”刘俊峰刚来，却遇上了这个项目的“瓶颈期”。团队带头人戴一帆迅速召集成员开会，大家你一言我一语争论得热火朝天，刘俊峰是新人，又不善言辞，坐在角落静静地听前辈们“头脑风暴”。

“你觉得我们需不需要对抛光装置进行动态分析？”戴一帆询问角落里的刘俊峰。刘俊峰的专业是主动轴动态分析，虽然跟超精密加工有点“不搭边”，却可能是这个项目的关键一环。刘俊峰点点头，接下了这个艰巨的任务。

按照团队以往的经验，在加工光学元件的过程中，他们会习惯性地忽略抛光装置的运动精度和一些细微的振动。一番思想“碰撞”后，他们改变了想法：加工亚纳米精度的元件，对加工状态进行动态分析、监测和修正，必不可少，可称之为“给抛光装置量体裁衣”。

抛光装置的结构是“面子”，工艺参数是“里子”，只有“面子”和“里子”全都合适，才能加工出最完美的光学元件。在这个过程中，要时刻掌握抛光装置所有结构的动态，把它调整到最优状态。

误差表面和高精度表面

刘俊峰抱着必胜的信念，开始了第一次建模和仿真分析。得到理论上的结论后，他投入了验证。没想到，实验数据却给了他当头一棒。“为什么偏差这么大？”刘俊峰既茫然又懊恼。

刘俊峰埋在实验室里，仔细对比建模数据和实际数据，发现一些振动频率和某些元件的振源相吻合。原先把机床一整个结构作为分析对象的做法行不通，要将结构拆分成元件，重新建模分析。

一个机床有十几种结构链，一个结构有七八个元件，一个元件要反复修正很多遍，要逐个分析元件动态，工作量可想而知。

“精益求精、尽善尽美、创造卓越”,刘俊峰脑海里一直回响着前辈们身体力行传承的“超精精神”，两点一线穿梭在办公室和实验室，建模、分析、监测、验证，抓紧每分每秒，得到最精确的答案。因为他知道，每降低一个误差，团队就离亚纳米精度更近了一步。

历时一年，刘俊峰没日没夜的“量体裁衣”终于迎来了胜利：抛光装置调整到了最优状态，随后团队合力，加工出了0.25纳米精度的光刻物镜，相当于20万分之一左右的头发丝。

项目正式验收的那天，刘俊峰怀着平常心等待着团队成员从北京传来消息。“中国终于有能力自主加工出亚纳米精度的光刻物镜了！”验收会上，一位专家代表激动不已。

听到消息，刘俊峰长舒了一口气，自己和团队的努力总算没有白费。来不及庆祝，甚至来不及表露太多欣慰的情绪，刘俊峰转身钻进实验室，投入到了新的挑战中。